Veröffentlichungen

als Autor und Co-Autor

“Golden Curve Method for OPC Signature Stability Control in high MEEF Applications”

Katja Geidel, Torsten Franke, Stefan Roling, Peter Buck, Martin Sczyrba, Engelbert Mittermeier, Russell Cinque
 (Advanced Mask Technology Center, Germany; Qimonda AG, Germany; AMD Fab 36 LLC & Co.KG, Germany; Toppan Photomasks, USA)
SPIE Advanced Microlithography 2008

“Comparison of different approaches for the correction of residual mask proximity effects” 

E. Mittermeier, T. Franke
SPIE BACUS 2005

”Verfahren zur Spezifikation von OPC relevanten Maskenparametern”
H. Haffner; T. Franke
Erfindungsmeldung 06.2003; Infineon Technologies AG

”Verfahren zur Herstellung eines CD-Kalibrationsstandards”

T. Schaetz; T. Franke
Erfindungsmeldung 06.2002; Infineon Technologies AG

”Verfahren zur Kompensation von Streu-/Reflexionseffekten in der Teilchenstrahllithographie"
F. Erber, B. Schoenher, T. Lutz, C. Ebi, G. Ruhl,T. Franke, F. Gans
Deutsche Patentanmeldung 04.2002; Infineon Technologies AG
US Patentanmeldung 04.2003; Infineon Technologies AG

“Mask manufacturing rule check: how to save money in your mask shop”
Martin C. Keck, Wolfram Ziegler, Roman Liebe, et al.
SPIE BACUS 2001

”Belichtungsmaske mit reparierter Blindstruktur”

T. Franke; H. Haffner; A. Semmler; M. Verbeek
Deutsche Patentanmeldung 07.2001; Infineon Technologies AG
US Patentanmeldung 06.2002;
Infineon Technologies AG

”Einsatz von Blindstrukturen bei der Maskenherstellung zum Ausgleich von Nachbarschaftseffekten beim Elektronenstrahlschreiben”
T. Franke; J. Thiele
Erfindungsmeldung 10.2000; Infineon Technologies AG

“Modelling of compound semiconductor epitaxy”
C. Heyn, T. Franke, R. Anton
J. Crystal Growth 200 (1999)

„Comperative REM and AFM investigations of the surface recovery of MBE-grown GaAs(001)-layers during annealing“
P. Keutzer, Th. Zacher, W. Naumann, T. Franke, R. Anton
Ultramicroscopy 76 (1999) 107

”Untersuchungen zur Kinetik auf molekularstrahl-epitaktisch gewachsenen Galliumarsenid- Aluminiumarsenid-(001)-Oberflächen”
T. Franke
Berichte a. d. Physik, Shaker (1998), ISBN 3-8265-3900-1 - Hamburg, Univ., Diss., (1998)

„In-situ-RHEED, AFM, and REM investigations of the surface recovery of MBE-grown GaAs(001)-layers during growth interruptions“
T. Franke, P. Kreutzer, Th. Zacher, W. Naumann, R. Anton
J. Crystal Growth 193 (1998) 451

„Correlation between island formation kinetics, surface roughening, and RHEED oscillation damping during GaAs homoepitaxy“
C. Heyn, T. Franke, R. Anton
Phys. Rev. B (56) 13483 (1997)