Publikationen

Veröffentlichungen

C. Heyn, T. Franke, R. Anton
„Correlation between island formation kinetics, surface roughening, and RHEED oscillation damping during GaAs homoepitaxy“
Phys. Rev. B (56) 13483 (1997)

T. Franke, P. Kreutzer, Th. Zacher, W. Naumann, R. Anton
„In-situ-RHEED, AFM, and REM investigations of the surface recovery of MBE-grown GaAs(001)-layers during growth interruptions“
J. Crystal Growth 193 (1998) 451

T. Franke
”Untersuchungen zur Kinetik auf molekularstrahl-epitaktisch gewachsenen Galliumarsenid- Aluminiumarsenid-(001)-Oberflächen”
Berichte aus der Physik, Shaker (1998), ISBN 3-8265-3900-1
Zugl.: Hamburg, Univ., Diss., (1998)

P. Keutzer, Th. Zacher, W. Naumann, T. Franke, R. Anton
„Comperative REM and AFM investigations of the surface recovery of MBE-grown GaAs(001)-layers during annealing“
Ultramicroscopy 76 (1999) 107

C. Heyn, T. Franke, R. Anton
“Modelling of compound semiconductor epitaxy”
J. Crystal Growth 200 (1999)

T. Franke; J. Thiele
”Einsatz von Blindstrukturen bei der Maskenherstellung zum Ausgleich von Nachbarschaftseffekten beim Elektronenstrahlschreiben”
Deutsche Patentanmeldung 10.2000; Infineon Technologies AG

T. Franke; H. Haffner; A. Semmler; M. Verbeek
”Belichtungsmaske mit reparierter Blindstruktur”
Deutsche Patentanmeldung 07.2001; Infineon Technologies AG

T. Schaetz; T. Franke
”Verfahren zur Herstellung eines CD-Kalibrationsstandards”
Deutsche Patentanmeldung 06.2002; Infineon Technologies AG

H. Haffner; T. Franke
”Verfahren zur Spezifikation von OPC relvanten Maskenparametern”
Deutsche Patentanmeldung 06.2003; Infineon Technologies AG

...

Veröffentlichungen außerhalb von Patenten wurde seitens der Infineon Technologies AG nicht zugestimmt.

Tagungsbeiträge

Seit 1995 über 20 Tagungsbeiträge als Autor und Co-Autor auf internationalen Konferenzen.

pic2page